随着使用要求和工艺条件的发展,我们要求产品的尺寸越做越小,集成度越来越高。观察和测量的范围也从毫米级变成微米级,现在更是演变到纳米级。传统的探针接触式表面粗糙度仪渐渐满足不了最新的测量需求。
今天为您带来的全新的3D立体形貌测量仪,该技术颠覆传统, 将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融合于一身,带您感受高清晰的纳米世界。
彩色共聚焦观察方式使用户能在视场内观察到纳米级的细节。扫描时用红、绿、蓝三色LED交替照明,获得三张单色的图像,最后还原成高分濒率彩色图像和高质量的彩色表面纹理图。
共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。 它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09 µm。利用它可实现临界尺寸的测量。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。
白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率
多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速 (mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(最大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。
太阳能
镜头
测量视频
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