TS：带Z轴上轮廓扫描轮廓测量系统
花岗石底座带T型槽和电动Y/R升降工作台
恒定动态速度控制，无论倾角大小，都保持测量点距一致。
模块化设计的扩展功能。可升级：双向轮廓模式，粗糙度测量。
TS-X：轮廓粗糙度测量系统
采用空气轴承，X轴向静态接触和测量，全量程都可以测量轮廓和粗糙度
TS-XL：TS-X的升级版，立柱高达550 mm，承重50kg
TS-X Move：大型和重型工件测量站，工件直径1200mm，承重150 Kg
粗糙度选项：
l 评价表面粗糙度的软件选项，可评价粗糙度参数见下表
l 通过参考测量来测量表面粗糙度
l 轮廓和粗糙度测量可以结合在“MultiContour”功能中，并与双向轮廓功能结合使用
l 此功能可集成到自动测量功能中
机型 | CV-120 | CV-300 | TS/GS | TS-X(HD)/GM-X | TS-XL | TS-X move |
功能参数 | ||||||
X轴量程 | 120 mm | 300 mm | 300 mm | 350 mm | 360 mm | 360 mm |
Z轴量程 | 30 mm | 100 mm | 375 mm | 280 mm | 550 mm | 550 mm |
测量系统 | 数字 | 数字 | 光栅 | 光栅 | 光栅 | 光栅 |
轮廓测量 | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
双向轮廓测量 | - | - | ● | √ | √ | √ |
X轴向左测量 | - | - | √ | √ | √ | √ |
X轴扫描 | - | - | - | √ | √ | √ |
测量速度 | 0.03-1.75 mm/s | 0.1-0.3 mm/s | ||||
速度自动优化 | - | - | √ | √ | √ | √ |
数据处理 | 数字 | |||||
导轨 | 机械 | 气浮轴承 | ||||
分辨率 | 0.01 μm | 0.01 μm | 0.001 μm | 0.001 μm | 0.001 μm | 0.001 μm |
工作台承重 | 30 Kg | 75 Kg | 35 Kg | 25 Kg(50 Kg HD) | 50/100 Kg | 150 Kg |
数据导出 | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
电动Y工作台 | - | - | ● | ● | ● | ● |
圆柱螺纹评价 | - | - | ● | ● | ● | ● |
圆锥螺纹评价 | - | - | ● | ● | ● | ● |
X轴误差(μm) | ±(1.2+2Lx/25) | ±(1.0+Lx/25) | ±(0.75+Lx/100) | ±(0.5+Lx/100) | ±(0.5+Lx/100) | ±(0.5+Lx/100) |
Z轴误差(μm) | ±(1.2+2Lz/25) | ±(1.2+Lz/25) | ±(0.75+Lz/100) | ±(0.5+Lz/100) | ±(0.5+Lz/100) | ±(0.5+Lz/100) |
轮廓软件功能 | ||||||
轮廓评价 | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
直径评价 | - | - | ● | √ | √ | √ |
数控自动测量 | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
数控自动评价 | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
粗糙度功能 | ||||||
粗糙度 | - | - | ● | √ | √ | √ |
Dominant Ripple | - | - | ● | ● | ● | ● |
Robust Gaussian | - | - | ● | ● | ● | ● |
量程（Z/X） | - | - | 1.0/300 mm | 350/280 mm | 550/360 mm | 350/370 mm |
Ra范围 | - | - | ≥0.1 μm | ≥0.05 μm | ≥0.1 μm | ≥0.05 μm |
Rz范围 | - | - | ≥1.0 μm | ≥0.5 μm | ≥0.8 μm | ≥0.5 μm |
准确性 | - | - | 5% MW | 5% MW | 5% MW | 5% MW |
测速 | - | - | 0.1 mm/s | 0.1-0.5 mm/s | ||
测力 | - | - | 7.5 mN | |||
备注 | √标配，●选配，-没有 | |||||
NW：标准值 | MW：测量值 | |||||
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